莱宝coolvac低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）属于气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空，冷表面（低温板）必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、 贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。

客户得益

低温泵的优势：

- 所有气体都有高抽速

- 对水汽有极高的抽速

对于相同直径的高真空法兰，低温泵可以达到所有高真空泵max的抽速。

低温泵的优势2：

与气体传输泵（例如涡轮分子泵）相比，低温泵在真空侧没有任何机械活动

部件、润滑油或脂润滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 torr).压强范围的无烃真空

- 对外部振动不敏感

其它优点：

- 与其他高真空泵相比更加紧凑（抽速大于1500 l x s-1）

- 仅启动和再生期间需要前级泵

- 利用计算机更容易对工艺和泵进行控制

- 性价比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的应用