莱宝皮拉尼真空计ttr 96 n thermovac 系列真空变送器可提供从 5×10-5 到 1000 毫巴的较大测量范围，基于对 mems pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。

ttr 96 n thermovac 变送器用途广泛，可用作独立装置，或用于 graphix 控制器 (p/n: 230680v01、230681v01、230682v01) 和 display 控制器 (p/n: 230001、230024、230025)。所有 thermovac 变送器均可向下兼容 graphix、display 和 center 控制器。

每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外，每个变送器压力读数均在指定操作温度范围内逐一得到温度补偿。

变送器拥有多达三个机械继电器，这些继电器可用于过程控制，例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备，用于获取压力读数，或进行压力控制。

传感器技术

变送器具备单独的 mems pirani (mems = micro-electro-mechanical-system (微电子机械系统)) 传感器 元件，元件测量基于热传导性的测量。mems pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状，空腔内无法进行对流，因此，传感器对安装位置并不敏感。通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。传感器元件极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入。

应用

变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:

· 一般真空压力测量

· 前级管道和粗抽压力测量

· 气体回填测量和控制

· 质谱仪控制

· 启动超高真空电离 (uhv) 规

· 系统过程控制

· 检测异常压力，利用继电器设定点采取妥当的安全措施

· 控制系统压力